Doğan, OğuzGücüman, Yaşar Gül2018-01-192018-01-192009Gücüman, Y. G. (2009). YBCO süper iletken ince filmin Ni-W altlık üzerine PED sistemi ile üretimi ve film özelliklerinin incelenmesi. Selçuk Üniversitesi, Yayımlanmış yüksek lisans tezi, Konya.https://hdl.handle.net/20.500.12395/7911Bu çalışmada, kaliteli süperiletken film üretimi için önemli ve düşük maliyetli bir fiziksel çökeltme tekniği olan atımlı elektronla çökeltme (PED) tekniği kullanılarak süperiletken YBa2Cu3O7-? (YBCO) ince filmi üretilmiştir. Süperiletken filmin üretimi için; nikel alaşımı bir altlık (Ni-W) ve SrTiO3 (STO) tek tampon tabakası kullanılmıştır. Ni-W/STO ve Ni-W/STO/YBCO yapısında iki malzeme hazırlanmıştır. Ni-W altlığın, Ni-W/STO ve Ni-W/STO/YBCO malzemelerinin kristal yapısı x-ışını difraktometresi (XRD) ile incelenmiştir. YBCO ince filminin; optik mikroskop, taramalı elektron mikroskobu (SEM), atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ile yüzey morfolojisi incelenmiştir. Süperiletken filmin üretilme sürecinde kullanılan PED parametrelerinin film kalitesine etkisi araştırılmıştır. Elde edilen verilerden, oksit/metal ara yüzeyinde meydana gelen oksitlenmenin c-ekseni yönünde büyümeyi engellediği gözlenmiştir. Bu durum, film kalitesini azaltmıştır. PED sistemindeki altlık sıcaklığı, oksijen gaz basıncı, altlık-hedef arası mesafe gibi bazı PED parametrelerinin film kalitesinde oldukça önemli olduğu sonucuna ulaşılmıştır.In this work, a superconducting YBa2Cu3O7-? (YBCO) thin film has been produced by pulsed electron deposition (PED) which is an essential and low-cost physical deposition technique of high quality superconducting films. For production of superconducting film, a Ni-W alloy substrate and SrTiO3 (STO) as a single buffer layer have been used. Ni-W/STO and Ni-W/STO/YBCO textured two materials have been prepared. The crystalline structures of Ni-W substrate, Ni-W/STO and Ni-W/STO/YBCO materials have been investigated by X-ray diffractometer (XRD). The surface morphology in YBCO thin film has been observed by optical microscopy, scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM). The effects of PED parameters used in thin film deposition on film quality have been evaluated. According to the obtained results, c-axis oriented growth on the metal substrate was inhibited by oxidation at the oxide/metal interface. Therefore, the quality of the thin film has been decreased. It is concluded that some parameters which are substrate temperature, ambient oxygen pressure and substrate-to-target distance in PED process have been highly effective at thin film quality.trinfo:eu-repo/semantics/openAccessSüper iletkenlerSuperconductorsİnce filmlerThin filmsMaster Thesis