Zan, RecepUtku, GülcanAltuntepe, Ali2019-12-132019-12-132019Zan,R.,Utku,G.,Altuntepe,A.(2019).Kimyasal Buhar Biriktirme Yöntemi İle Grafen Sentezine Tavlama Ve Büyütme Sürelerine Etkisi. Selçuk Üniversitesi Mühendislik, Bilim ve Teknoloji Dergisi, 7(2),263-2712147-9364https://hdl.handle.net/20.500.12395/15036Due to its superior properties such as, has high conductivity, high durability and transparency, graphene is one of the most attractive material in recent years. The important parameters that affects graphene synthesis using chemical vapour deposition technique are growth temperature, growth time, annealing time, pressure, growth substrate, gas purity and gas flows. Among these parameters the growth time and annealing time are the most important parameters for graphene growth, thus in this study the effect of growth and annealing time on homogenous single layer graphene were investigated. The grown graphene films by using different growth and annealing time were characterized via Raman Spectroscopy technique and as a result single layer graphene growth process were optimized. In general, there was no significant change in the quality of the graphene in the experimental groups where the annealing time was increased from 20 minutes to 40 minutes. In the experimental groups where the growth time was increased, it was determined that the graphene quality improved with the time increases up to 40 minutes.Son yılların en ilgi çekici malzemelerinden biri olan grafen yüksek iletkenlik, yüksek dayanım ve saydamlık gibi birçok üstün özelliğe sahiptir. Grafenin kimyasal buhar biriktirme tekniği kullanılarak sentezlenmesinde, büyütme sıcaklığı, büyütme süresi, tavlama süresi, basınç, kullanılan alt-taş, kullanılan gazların saflıkları ve akış miktarları gibi birçok parametre etkilidir. Bu parametrelerden büyütme ve tavlama süreleri grafen sentezinde en önemli parametrelerdendir, bu nedenle bu çalışmada büyütme ve tavlama sürelerinin tek katmanlı homojen grafen sentezine olan etkisi araştırılmıştır. Farklı büyütme ve tavlama süreleri kullanılarak üretilen grafen filmler Raman Spektroskopisi tekniği kullanılarak karakterize edilmiş olup tek tabakalı homojen grafen sentezi için üretim süreci optimize edilmiştir. Genel anlamda tavlama sürelerinin 20 dakikadan 40 dakikaya kadar arttırıldığı deney gruplarında grafen kalitesinde ciddi bir değişim gözlenmemiştir. Büyütme sürelerinin arttırıldığı deney gruplarında ise 40 dakikaya kadar olan süre artışlarıyla doğru orantılı olarak grafen kalitesinin iyileştiği tespit edilmiştir.trinfo:eu-repo/semantics/openAccessBüyütme SüresiAnnealing TimeCVDGrafen, Metan GazıGraphene, Growth TimeRaman SpektroskopisiArticle72263271