PULSLU LASER DEPOZİSYON (PLD) YÖNTEMİ İLE ÜRETİLEN FTO ve ZnO İNCE FİLMLERİN MORFOLOJİK VE OPTİK ÖZELLİKLERİ

dc.contributor.authorGezgin, Bahri
dc.contributor.authorKepçeoğlu, Abdullah
dc.contributor.authorGündoğdu, Yasemin
dc.contributor.authorKılıç, Hamdi Şükür
dc.contributor.authorGezgin, Serap Yiğit
dc.date.accessioned2023-03-11T10:05:41Z
dc.date.available2023-03-11T10:05:41Z
dc.date.issued2017en_US
dc.departmentSelçuk Üniversitesi, Fen Fakültesi, Fizik Bölümüen_US
dc.description.abstractBu çalışmada, PLD tekniği ile oda sıcaklığında (RT) soda lime cam (SLG) alt tabaka üzerine büyütülen Flor (F) katkılı SnO2 (FTO) ve ZnO ince filmlerin üretiminde; laser enerjisinin, filmlerin optik ve morfolojik özellikleri üzerine etkileri incelenmiştir. Bununla birlikte, faklı O2 gaz basıncında ZnO ince filmleri büyütülmüş ve bir ZnO ince film 300 o C sıcaklıkta tavlanmıştır. İnce filmlerin, morfolojik yapısı Atomik Kuvvet Mikroskop (AFM) yöntemi, kristal yapısı ise X-ışını kırınımı (XRD) yöntemi ile analiz edilmiştir. FTO ve ZnO ince filmleri genel olarak gözenekli yapıdadır. PLD ile oda sıcaklığındaki SLG üzerine büyütülen FTO ve ZnO ince filmler polikristal yapıya sahiptirler. İnce filmler spektrumun görünür bölgesinde şeffaftırlar ve 3.75 eV (FTO), 3.50 eV (ZnO), 3.30 eV (tavlanmış ZnO) bant aralıklarına (Eg) sahiptirler. Çalışmada, laser enerjisi (FTO ve ZnO ince filmlerinin), O2 gaz basıncı ve tavlama sıcaklığı değerlerinin (sadece ZnO ince filminin) üretilen ince filmlerin morfolojik ve kristal yapıları ile optik özellikleri üzerine etkileri ayrıntılı olarak incelenmiş ve yorumlanmıştır.en_US
dc.description.abstractIn this study, in the production of Fluorine (F) doped SnO2 (FTO) and ZnO thin films grown on soda lime glass (SLG) substrate by PLD technique at room temperature (RT); the effects of laser energy on optical and morphological properties of films have been investigated. However, ZnO thin films were grown in a different O2 gas pressure and a ZnO thin film was annealed at 300 o C. The morphological structure of thin films was analysed by Atomic Force Microscopy (AFM) method and the crystal structure by X-ray diffraction (XRD) method. FTO and ZnO thin films are generally porous. FTO and ZnO thin films grown on PLD at room temperature on SLG substrate have polycrystalline structure. Thin films are transparent in the visible region of the spectrum and have the band gaps (Eg) of 3,75 eV (FTO), 3.50 eV (ZnO), 3.30 eV (annealed ZnO). In the study, the effects of laser energy (FTO and ZnO thin films), O2 gas pressures and annealing temperature values (only ZnO thin film) on the morphological, crystal structures and optical properties of thin films were examined and interpreted in detail.en_US
dc.identifier.citationGezgin, B., Gezgin, S. Y., Kepçeoğlu, A., Gündoğdu, Y., Kılıç, H. Ş., (2017). PULSLU LASER DEPOZİSYON (PLD) YÖNTEMİ İLE ÜRETİLEN FTO ve ZnO İNCE FİLMLERİN MORFOLOJİK VE OPTİK ÖZELLİKLERİ. Selcuk University Journal of Engineering Sciences, 16 (3), 161-183.en_US
dc.identifier.endpage183en_US
dc.identifier.issn1302-6178en_US
dc.identifier.issue3en_US
dc.identifier.startpage161en_US
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12395/45814
dc.identifier.volume16en_US
dc.institutionauthorGezgin, Bahri
dc.institutionauthorKepçeoğlu, Abdullah
dc.institutionauthorGündoğdu, Yasemin
dc.institutionauthorKılıç, Hamdi Şükür
dc.institutionauthorGezgin, Serap Yiğit
dc.language.isotren_US
dc.publisherSelçuk Üniversitesien_US
dc.relation.ispartofSelcuk University Journal of Engineering Sciencesen_US
dc.relation.publicationcategoryMakale - Uluslararası Hakemli Dergi - Kurum Öğretim Elemanıen_US
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.selcuk20240510_oaigen_US
dc.subjectPulslu Laser Depozisyonen_US
dc.subjectZnOen_US
dc.subjectFTOen_US
dc.subjectince filmen_US
dc.subjectpolikristalen_US
dc.subjectPulsed Laser Depositionen_US
dc.subjectlaseren_US
dc.subjectband gapen_US
dc.subjectthin filmen_US
dc.subjectpolycrystallineen_US
dc.subjectbant aralığıen_US
dc.titlePULSLU LASER DEPOZİSYON (PLD) YÖNTEMİ İLE ÜRETİLEN FTO ve ZnO İNCE FİLMLERİN MORFOLOJİK VE OPTİK ÖZELLİKLERİen_US
dc.title.alternativeMORPHOLOGICAL AND OPTICAL PROPERTIES OF FTO AND ZnO THIN FILMS PRODUCED BY PULSED LASER DEPOSITION (PLD) METHODen_US
dc.typeArticleen_US

Dosyalar

Orijinal paket
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Yükleniyor...
Küçük Resim
İsim:
402-1729-1-PB.pdf
Boyut:
686.53 KB
Biçim:
Adobe Portable Document Format
Açıklama:
Makale dosyası
Lisans paketi
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Küçük Resim Yok
İsim:
license.txt
Boyut:
1.44 KB
Biçim:
Item-specific license agreed upon to submission
Açıklama: