YBCO süper iletken ince filmin Si altlık üzerine PED sistemi ile üretimi ve film özelliklerinin incelenmesi
Yükleniyor...
Dosyalar
Tarih
2009
Yazarlar
Dergi Başlığı
Dergi ISSN
Cilt Başlığı
Yayıncı
Selçuk Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü
Erişim Hakkı
info:eu-repo/semantics/openAccess
Özet
Bu çalışmada, fiziksel bir çökeltme tekniği olan atımlı elektronla çökeltme (PED) tekniği kullanılarak silisyum altlık üzerinde süperiletken YBa2Cu3O7-? (YBCO) ince filmi üretilmiştir. Si altlık ile YBCO süperiletken tabaka arasına tampon tabakası olarak SrTiO3 (STO) çökeltilmiştir. X-ışını difraktometresi (XRD) ile filmin kristal yapısı ve yönelimi incelenmiştir. Filmin makroskobik yüzey yapısı Optik Mikroskop ile, filmin mikroyapısı, taneciklerin büyüklüğü ve damlacıklar Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) ile incelenmiştir. Filmin yüzey morfolojisi ve yüzey pürüzlülüğü ise Atomik Kuvvet Mikroskobuyla (AFM) incelenmiştir. Elde edilen sonuçlar, PED tekniğinin YBCO süperiletken ince filmin üretilmesinde yeterli olduğunu göstermiştir. Ayrıca STO tabakasının kaliteli YBCO filmlerin üretimi için tek başına tampon tabakası olarak kullanılabileceğini göstermiştir.
In this work, a superconducting YBa2Cu3O7-? (YBCO) thin film has been fabricated on silicon substrate by pulsed electron deposition (PED) which is an physical deposition technique. SrTiO3 (STO) as a buffer layer has been grown between Si substrate and YBCO superconducting layer. The crystalline structure and orientation of the film have been investigated by X-ray diffractometer (XRD). The macroscopic surface structure of YBCO thin film has been observed by optical microscopy; microstructure, grain size and droplets by scanning electron microscopy (SEM). The surface morphology and surface roughness have been investigated by atomic force microscopy (AFM). The obtained results indicate that PED is an efficient tecnique at fabrication of YBCO superconducting thin films and STO layer can be used as a single buffer layer for fabrication of high quality YBCO films.
In this work, a superconducting YBa2Cu3O7-? (YBCO) thin film has been fabricated on silicon substrate by pulsed electron deposition (PED) which is an physical deposition technique. SrTiO3 (STO) as a buffer layer has been grown between Si substrate and YBCO superconducting layer. The crystalline structure and orientation of the film have been investigated by X-ray diffractometer (XRD). The macroscopic surface structure of YBCO thin film has been observed by optical microscopy; microstructure, grain size and droplets by scanning electron microscopy (SEM). The surface morphology and surface roughness have been investigated by atomic force microscopy (AFM). The obtained results indicate that PED is an efficient tecnique at fabrication of YBCO superconducting thin films and STO layer can be used as a single buffer layer for fabrication of high quality YBCO films.
Açıklama
Anahtar Kelimeler
Süper iletkenler, Superconductors, İnce filmler, Thin films
Kaynak
WoS Q Değeri
Scopus Q Değeri
Cilt
Sayı
Künye
Mutlu, Z. (2009). YBCO süper iletken ince filmin Si altlık üzerine PED sistemi ile üretimi ve film özelliklerinin incelenmesi. Selçuk Üniversitesi, Yayımlanmış yüksek lisans tezi, Konya.
