İnce Filmlerin Optik Özelliklerinin Elipsometrik Yöntemle Belirlenmesi
Yükleniyor...
Dosyalar
Tarih
2002
Yazarlar
Dergi Başlığı
Dergi ISSN
Cilt Başlığı
Yayıncı
Selçuk Üniversitesi Fen-Edebiyat Fakültesi
Erişim Hakkı
info:eu-repo/semantics/openAccess
Özet
Bu çalışmada ince fimlerirı optikseI karakterizasyonunda sıkça kullanılan polarimetrik bir yöntem olan Elipsometri tekniği incelenmiştir. Yapılan çalışmada bir elektromagnetik dalganın elipsometre düzeneği içersindeki davranışı ayrıntılı olarak ele alınmıştır. Daha sonra elipsometrik parametreler ve denklemler tanımlanmış ve her hangi bir ince film için kırılma indisi ve soğurma katsayısının elipsometrik yöntemle nasıl hesaplandığı açıklanmıştır.
In this study, the ellipsometry technique which has been used widely in characterisation of thin films are studied. Here, firstly the behaviour of electromagnetic wave within ellipsometry setup are investigated in details. Then, ellipsometrical parametres and related equations are introduced and method by which the refractive index and extinction coefficient of any thin film are determined, has been explained.
In this study, the ellipsometry technique which has been used widely in characterisation of thin films are studied. Here, firstly the behaviour of electromagnetic wave within ellipsometry setup are investigated in details. Then, ellipsometrical parametres and related equations are introduced and method by which the refractive index and extinction coefficient of any thin film are determined, has been explained.
Açıklama
Anahtar Kelimeler
İnce film, Elipsometri, Jones Hesaplaması, Thin film, Ellipsometry, Jones Calculation
Kaynak
Selçuk Üniversitesi Fen-Edebiyat Fakültesi Fen Dergisi
WoS Q Değeri
Scopus Q Değeri
Cilt
1
Sayı
19
Künye
Çelik, G., Şafak, H. (2002). İnce Filmlerin Optik Özelliklerinin Elipsometrik Yöntemle Belirlenmesi. Selçuk Üniversitesi Fen-Edebiyat Fakültesi Fen Dergisi, 1, (19), 31-39.
