İnce Filmlerin Optik Özelliklerinin Elipsometrik Yöntemle Belirlenmesi

Basit Öğe Kaydı
dc.authorid0000-0001-7608-7753en_US
dc.authorid0000-0001-8587-322Xen_US
dc.contributor.authorÇelik, Gültekin
dc.contributor.authorŞafak, Haluk
dc.date.accessioned2022-08-26T06:30:28Z
dc.date.available2022-08-26T06:30:28Z
dc.date.issued2002en_US
dc.departmentSelçuk Üniversitesi, Fen Fakültesi, Fizik Bölümüen_US
dc.description.abstractBu çalışmada ince fimlerirı optikseI karakterizasyonunda sıkça kullanılan polarimetrik bir yöntem olan Elipsometri tekniği incelenmiştir. Yapılan çalışmada bir elektromagnetik dalganın elipsometre düzeneği içersindeki davranışı ayrıntılı olarak ele alınmıştır. Daha sonra elipsometrik parametreler ve denklemler tanımlanmış ve her hangi bir ince film için kırılma indisi ve soğurma katsayısının elipsometrik yöntemle nasıl hesaplandığı açıklanmıştır.en_US
dc.description.abstractIn this study, the ellipsometry technique which has been used widely in characterisation of thin films are studied. Here, firstly the behaviour of electromagnetic wave within ellipsometry setup are investigated in details. Then, ellipsometrical parametres and related equations are introduced and method by which the refractive index and extinction coefficient of any thin film are determined, has been explained.en_US
dc.identifier.citationÇelik, G., Şafak, H. (2002). İnce Filmlerin Optik Özelliklerinin Elipsometrik Yöntemle Belirlenmesi. Selçuk Üniversitesi Fen-Edebiyat Fakültesi Fen Dergisi, 1, (19), 31-39.en_US
dc.identifier.endpage39en_US
dc.identifier.issn2458-9411en_US
dc.identifier.issue19en_US
dc.identifier.startpage31en_US
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12395/43011
dc.identifier.volume1en_US
dc.institutionauthorÇelik, Gültekin
dc.institutionauthorŞafak, Haluk
dc.language.isotren_US
dc.publisherSelçuk Üniversitesi Fen-Edebiyat Fakültesien_US
dc.relation.ispartofSelçuk Üniversitesi Fen-Edebiyat Fakültesi Fen Dergisien_US
dc.relation.publicationcategoryMakale - Uluslararası Hakemli Dergi - Kurum Öğretim Elemanıen_US
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.selcuk20240510_oaigen_US
dc.subjectİnce filmen_US
dc.subjectElipsometrien_US
dc.subjectJones Hesaplamasıen_US
dc.subjectThin filmen_US
dc.subjectEllipsometryen_US
dc.subjectJones Calculationen_US
dc.titleİnce Filmlerin Optik Özelliklerinin Elipsometrik Yöntemle Belirlenmesien_US
dc.title.alternativeDetermination of Optical Properties of Thin Films by Ellipsometry Techniqueen_US
dc.typeArticleen_US

Dosyalar

Orijinal paket
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Küçük Resim
İsim:
Makale Dosyası.pdf
Boyut:
3.96 MB
Biçim:
Adobe Portable Document Format
Açıklama:
Makale Dosyası
İndir
Lisans paketi
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Küçük Resim Yok
İsim:
license.txt
Boyut:
1.44 KB
Biçim:
Item-specific license agreed upon to submission
Açıklama:
İndir

Koleksiyon

Dergi Yayın Koleksiyonu